小型開啟式管式爐

在真空壓力下，加在電感線圈的射頻電場(chǎng),，使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電,，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場(chǎng)的作用下獲得充足的能量,，其本身溫度很高,，它與氣體分子相碰撞,，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,，并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜,，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走,，稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉(PECVD),。

PECVD開啟式管式爐系統(tǒng)由開啟式管式爐、高真空分子泵系統(tǒng),、射頻電源系統(tǒng)及多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)組成,，是實(shí)驗(yàn)室生長(zhǎng)薄膜石墨烯，金屬薄膜,，陶瓷薄膜,，復(fù)合薄膜等的理想選擇。

小型開啟式管式爐主要功能和特點(diǎn)：

1,、PECVD具有基本溫度低,、沉積速率快、成膜質(zhì)量好,、針孔較少,、不易龜裂等；

2,、PECVD工藝中由于等離子體中高速運(yùn)動(dòng)的電子撞擊到中性的反應(yīng)氣體分子,，就會(huì)使中性反應(yīng)氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應(yīng)；

3,、借助射頻等使含有薄膜組成原子的氣體,，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),，很容易發(fā)生反應(yīng),，在基片上沉積出所期望的薄膜；

4,、高真空系統(tǒng)由雙級(jí)旋片真空泵和分子泵組成,，高真空可達(dá)0.001Pa；

5,、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì),，流量顯示儀等組成，實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制,；

6,、每條氣體管路均配備高壓逆止閥，保證系統(tǒng)的安全性和連續(xù)均勻性；

7,、采用KF快速法蘭密封,，裝卸方便快捷；

8,、管路采用世界*Swagelok卡套連接,，不漏氣；

9,、超溫,、過(guò)壓時(shí)，自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣,，使用安全可靠,。

小型開啟式管式爐主要用途：

高校、科研院所用于真空鍍膜,、納米薄膜材料制備,，生長(zhǎng)薄膜石墨烯，金屬薄膜,，陶瓷薄膜,，復(fù)合薄膜等，也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用,。